मोडल ZDF-62B5 कम्पाउन्ड भ्याकुम गेज कम भ्याकुम मापन इकाईहरु को 2 सेट र उच्च वैक्यूम मापन इकाईहरु को 1 सेट बाट बनेको छ। प्रतिरोध नाप्ने एक इकाई (RG 2) मापन प्राप्त गर्न को लागी प्रयोग गरीन्छ (1.0 × 10E5Pa~1.0 × 10E-7Pa) स्वतन्त्र रूप मा, प्रतिरोध गेज (RG1) को इकाई ionization गेज संग संयुक्त, यौगिक इकाई को रूप मा, लगातार नियन्त्रण र मापन (1 × 10E5) प्राप्त गर्न को लागी हो।~१ × १० ई-7Pa)।